TOF-ERDA法による軽元素分析手法の開発：イオンビームを用いた軽元素の元素分析および深さ分布測定

摘要

飛行時間測定弾性反跳粒子検出（TOF-ERDA）法はイオンビームを用いた材料分析手法の一つで、水素を含む軽元素を元素分離して優れた深さ分解能で測定することが可能である。本稿ではTOF-ERDA法の測定原理と、我々が開発した測定系の詳細およびその性能について述べる。