(S303)バイアス電流導入法を応用した高周波グロー放電発光分析における深さ方向元素分布測定の立ち上がり特性の改善

摘要

グロー放電プラズマ発光分析法 (glow discharge plasma - optical emission spectrometry, GDOES)1) は，数 100Pa 程度の減圧雰囲気で生成する定常放電（グロー放電）中で試料原子を励起し，その脱励起時に発生する原子スペクトル線を分光検出する方法である．高い真空雰囲気を必要とせず固体試料を複雑な前処理不要で分析することができ，また，持続型の定常放電であることからプラズマは極めて安定であり変動の小さい発光強度を得ることができる．