これだけは身に付けたいクリーン化技術の基礎知識（その4）

摘要

前回はクリーンルーム内で使用される各種補助材（手袋、ワイパー材）、作業動作などによる発塵について述べた。 今回はクリーンルーム内での発塵源についてもう少し触れ、さらに分子状汚染の考え方について説明する。