これだけは身に付けたいクリーン化技術の基礎知識（その6）

摘要

前回は化学汚染とミニエンの基本について解説した。 今回はClass 10000～100000レベルのクリーン化について述べる。 この分野は、半導体の組立工程や電子部品·電子材料など対象範囲が幅広く、現在もっとも裾野を広げており注目を集めている。