クリーンルームにおける静電気対策：「CNT制電シリーズ」について－成形加工ができる画期的な透明制電樹脂プレート

摘要

タキロン制電プレートは、「静電気による塵や埃の付着」、「静電気の発生による障害」を防止する優れた静電気防止機能を有する樹脂プレートとして、発売以来確かな品質と業界一の品揃えにより、既に半導体や液晶分野の製造装置材料、クリーンルーム用パーティション材料、メカトロニクス関連の制電機械カバー材料として広くご採用いただいています（写真1）。 このような用途の拡大が進む中、お客様からは透明で制電性のある成形加工品の要望が高まっています。 静電気は、二つの物体が摩擦·接触·剥離する際に発生する。 したがって、静電気の発生を嫌う用途においては、帯電防止材料や設備的に対応する方法（例：除電プロアー、除電バー等）が用いられる。 タキロン制電プレートの除電機構は、本来絶縁体であり帯電しやすい樹脂プレートの表面に、電気が流れる導電回路を形成し（制電層）、発生した電荷（静電気）を表面全体に散逸させて電荷密度を下げ、端部より空気中に向けて微弱なコロナ放電を発生させ、電荷を消滅させているものと考えられる（図1）。 また、その制電層には、電子伝導型の導電性金属酸化物を用いているため、湿度の影響を受けず、機能·特性が非常に安定した製品である（表1）。