摘要：近些年来,洁净室技术在技术上和经济上都经历了快速的发展,这是其他经济领域所无法比拟的.自从约30年前,第一批洁净室用于制药医疗以来,洁净室技术百花齐放,洁净生产环境五彩缤纷.半导体工业用高标准洁净室以其高标准著称,成为最先进的洁净室类型,常常成为整个洁净技术发展的标志.因此,本文中不应忽略的情况是,目前的洁净室技术已进入工业生产与研究所、院校、科研设施的各个领域.在汽车工业、微系统技术、生物技术、表面技术及其他许多工业分支中,可以看到更多的多的例子.每一工业部门已开发出了适合于自己具体要求的洁净室技术,在这个过程中,其他工业部门的技术经验,在或大或小的程度上,得到了借用.比如,我们终于找到了微系统技术生产环境的某些技术性结论,而这也是因为受半导体工业之经验很大的影响所致.尽管微系统技术工业的要求没有半导体工业的要求那么高,但微系统工业洁净室的造价常常过高.此外,在表面技术与光学技术领域,至今人们仍在研究适合于自己的最佳生产环境类型,而这种类型必须完全适合于那些工业部门的要求——那些迄今还未找到理想的生产方式的工业部门.
