パーティクル計測技術：ガス中のパーティクル計測－パーティクルカウンタによる高圧ガス中のパーティクル計測

摘要

半導体産業をはじめとする各種電子産業において、デバイス製造に使用される高純度ガス中のパーティクルは、製品の品質や歩留まりに直接影響を及ぼすものとして広く知られている。ガス中のパーティクルの測定には、クリーンルームの清浄度管理と同様に、光散乱式パーティクルカウンターがその利便性から広く利用されている。ここでは、主にバルクガス中のパーティクル評価に広く用いられでいる、高圧ガス用レーザーパーティクルカウンターをメインに、高圧ガス中のパーティクル計測技術について紹介する。