粒子测量设备、粒子分离测量设备以及粒子分离测量装置

摘要

本公开的粒子测量设备(3)在上表面具有包含测量对象的粒子的第1流体流入的第1流入口(23)，具有与第1流入口(23)连接的用于测量粒子的第1流路(16)、以及在第1流路(16)与第1流入口(23)的连接部的上游侧连接的、宽度小于第1流入口(23)的第3流路(29)，第1流路(16)具有宽度大于第3流路(29)的宽度以及第1流入口(23)的宽度的第1平面部(27)、与第1平面部(27)的下游侧连接的宽度增大部(16a)、以及与宽度增大部(16a)的下游侧连接的第2平面部(28)。