クリーンルームにおける微粒子解析事例

摘要

クリーンルームを評価する上で、空気中の微粒子計測は最も重要な要素である。 またその解析を行うことは、発じh源の特定を行う上で、重要な要素である。 本稿では浮遊微粒子濃度試験機やクリーンルームにおける発じhの問題等において、事例とも合わせ解説する。