末端气流分布装置在洁净室中的应用分析

摘要

末端气流分布装置是洁净室的一个重要部件,直接影响到洁净室的气流分布情况。从射流扩散和射流强度的角度,采用了理论和实验的方法分析了分别经由散流器、局部孔板和旋流风口三种末端气流分布装置所形成的射流对洁净室运行的影响,从而指出了装置的使用场合。