簡易増設型ケミカルフィルタの開発：隣接工事からの分子汚染を簡易に除去する手法

摘要

本開発品『簡易増設型ケミカルフィルタ』は、電子デバイスクリーンルーム増築工事の際、特に分子汚染対策の必要なクリーンルームの増築工事に効果的であることが確認できた。 また、従来のケミカルフィルタは非常に高価であるのに比べ、本開発品は工事中という期間限定型に的を絞ることで低コストを実現することが出来た。 これにより、『持ち込まない』技術として、今後の電子デバイス施設の増築時には欠かせない技術として鹿島では位置付けていく。 また、近隣の農薬散布時のように周囲に臭気がある場合に、また火山性ガスのように臨時に発生する汚染物質を除去する必要があるときに有効と考えている。一般建築物においても、例えば病院の増築工事の際等、既存建物に工事から発生する臭気の影響を出来るだけ与えないことを目的に、本開発品を適用していくことも有効と考え積極的に展開していく予定である。