クリーンルーム外気処理用簡易増設型ケミカルフィルタの開発

摘要

半導体やフラットパネルディスプレイなどの電子デバイス関連クリーンルーム内では，分子汚染物質（以下，化学物質）が製造プロセスに影響を及ぼすため濃度低減が望まれている。 化学物質はクリーンルームに使用される建材から発生するだけでなく，外気から導入される場合もある。既存クリーンルーム周辺で建設工事が行われる際，重機などからの排ガスや工事中の化学物質が既存クリーンルームへの導入外気を汚染する。