AMHS対応全自動FOUP洗浄システム - 高清浄度洗浄、完全乾燥、全自動搬送を実現

摘要

「我々は、ヒューグルのUPC－12100を補助的な装置などとは決して考えていませh。 これは、非常に重要なプロセス装置と認識しています」これは、我々の全自動FOUP (FRONT OPEN UNIFIED POD)洗浄システムUPC－12100のユーザーである海外の300 mmウェハーを用いたラインを持つお客様より最近いだいたコメントである。 このコメントのように、FOUPに限らず容器洗浄装置は、プロセス装置としての重要性を急速に増しつつある。