半導体分野に使われるフッ素化学の最新動向：半導体製造プロセスに深く関わるフッ素系ガス·液体·ポリマー

摘要

半導体デバイスの高密度化と高速化は近年益々加速度を増している。 その技術のポイントは微細加工にあり、以前は4年で寸法が半分になり、チップ当りの素子数は4倍に増大していたが、最近ではそのスピードが更に上がっているようである。 この半導体製造プロセスにフッ素化学が深く関わっているのでそのことを概観してみたい。 フッ素と言ってもガス、液体、固体材料等々、その姿かたちは様々で、多彩な特徴が利用され、半導体プロセスにおいて重要な役割を演じている。