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张珲杰;
半导体工业; 全氟弹性体; 部件; 杜邦; 半导体设备; 高性能弹性体; 密封可靠性; 材料产业;
机译:用于半导体晶圆加工设备的全氟弹性体和氟弹性体密封件
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机译:全氟弹性体,全氟弹性体组合物,交联橡胶产品以及全氟弹性体的制造方法
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