杜邦推出高性能全氟弹性体部件

摘要

在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上,杜邦高性能弹性体公司（DPE）重点推出专为半导体热处理过程开发的最新Kalrez8900全氟弹性体部件,实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命,减少了昂贵的设备停工时间,降低了设备拥有成本。