リンドープのシリコンナノインクを用いたレーザードーピングによる単結晶シリコン太陽電池の作製

摘要

レーザードーピングはフォトリソグラフィーなどによるマスクなしで簡便に局所的な不純物ドープが可能であるため，セレクティブエミッタ等の高効率太陽電池構造への応用が期待されている．シリコンナノインクとは高濃度に不純物をドープしたシリコンナノ粒子を溶液中に分散させたものであり，本研究ではリンドープのシリコンナノインクをドーピングプレカーサーとして連続発振緑色レーザーを照射した．レーザー照射後，シリコンナノ粒子およびシリコン基板の溶融，再結晶化によるリンのドーピングとp-n接合の形成を確認した．作製した太陽電池の光電特性評価等について報告する．