微量酸素添加スパッタ雰囲気中で作製したCo－Fe/Cu多層膜のGMR効果

摘要

2nd peak位置におけるCo-Fe/Cu多層膜を微量酸素添加雰囲気中で作製し，GMR効果の添力酸素分圧P_(O2)に対する変化について検討した結果,以下のことが明らかとなった．①MR比はP_(O2)=5×10~(-8) Torrで極大値29％を取り,それ以上若しくはそれ以下の酸素分圧に対して著しく液少した．MR比の酸素分圧に対する変化は且1st peak位置におけるCo/Cu多層膜の場合と非常に類似している.②添加酸素分圧の増加により，多層膜の結晶粒径の減少に伴って積層界面の平坦性が向上した.③2nd peak位置における多層膜こおいても積層界面の平坦性がMR特性に大きく影響する．④P_(O2)=1×10~(-7) Torrにおいて磁界感度の極大値0.28％Oeを得た．