ダイヤモンド薄膜の合成と応用 ヘテロエピタキシヤルダイヤモンドの現状と展望

摘要

ダイヤモンドは宝石や工具のみをらず，次世代半導体として，あるいは近年では電気化学電極として応用展開が著しい。この要因の1つに，簡便に薄膜としてダイヤモンドを合成てき，導電性をはじめとする物性を制御した材料を得ることが比較的容易になってきたという技術の進歩が欠かせない。中でも実応用に不可欠な大面積基板を作製するためにほヘテロエピタキシャル成長が重要なキーワードとなっている。