ヘテロエピタキシヤルダイヤモンド基板の開発とそのデバイス応用

摘要

ダイヤモンドは，多くのすぐれた物性を有する類まれなる 物質であり，天然に産出したもの，または高温高圧によって 人工合成されたものを用いて，物質中最も高い硬度，最も小 さい線膨張率を利用した精密切削・研磨用工具，物質中最も 高い熱伝導率を用いたヒートシンク，紫外から赤外領域の透 過性を用いた窓材など，いくつかの応用分野で人類にとって 必要不可欠な工業材料となった1）。1980年代に入り．化学