フィルタードアーク法によるDLC薄膜の合成

摘要

自動車および機械分野における省エネルギー化や環境問題への対策として駆動ェネルギーの伝達ロスの低減·部品の長寿命化·高性能化などを図るため、回転運動や往復運動を行う機能部品の摩擦摩耗特性の向上が望まれている。 DLC（ダイヤモンドライクカーボン）に代表されるアモルファス構造を持ったカーボン系薄膜は、摺動性·耐摩耗性に優れた薄膜材料の一つとして注目され、その摩擦摩耗メカニズムの解明のような基礎研究から駆動部品への適用を目的とした実用化開発まで幅広い研究開発がなされるようになってきた。 DLC薄膜の形成方法には、プラズマCVD法·真空アーク法·スパッタ法·レーザ蒸着法などがある。 中でも真空アーク法は、成膜速度が大きく生産性に優れている、イオン化率が高〈高硬度なカーボン膜が形成できる、水素を大量に含まない膜を形成することが可能なため高温環境下での性能に優れる、等の長所をもつ方法として注目されている。