The use of ionplasma sputtered silicon carbide films for antirefletion purposes for germanium optics in the IR spectrum

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• 来源
  《Сверхтвердые　материалы.》 |1999年第5期|共7页
• 作者

  M. A. Voronkin; N. I. Zaika;

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• 作者单位

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 rus
• 中图分类 工程材料学;
• 关键词

  silicon carbide films; ion-plasma sputtered; germanium optics; reflectivity; IR spectrum; 碳化硅薄膜; 离子等离子体溅射; 锗光学元件; 反射率; 红外光谱;

  机译：silicon carbide films;ion-plasma sputtered;germanium optics;reflectivity;IR spectrum;碳化硅薄膜;离子等离子体溅射;锗光学元件;反射率;红外光谱;