水熱合成法によるZnO単結晶の作製技術

摘要

バルクZnO結晶の開発状況と，水熱合成法によるバルクZnO結晶育成とその評価について報告した。水熱合成法で育成したZnOのX緑ロッキングカーブからはFWHMが19arcsecという値が得られ，非常に高い結晶性が示された。 これは水熱合成法が成長界面における温度勾配が非常に小さいため，熱歪の少ない良質大型結晶が得られるためと考えられる。 ZnOの線膨張率測定から，1000°CにおけるZnO c-軸の線膨張係数はGaNの値に近く，GaN育成用基板としても優れていることが分かった。 水熱合成法から発展させたアモノサーマル法によるGaNバルク結晶作製技術についても確立できるよう尽力したい。