ITRS 2007におけるウエハ環境制御の技術的要求

摘要

ITRSは2年に一度改定版を作成し、その間の年にはup date版としてテーブルの修正を行っている。 改定は冬の極東会議、春の欧州会議、夏の米国会議を経て行われ、その間にも必要に応じて電話会議やクロスカットと呼ばれる他グループとの協議などを行いながら作成される。 その間、様々な技術開発がなされるため、それらをフォローしさらに5年10年先の技術を規定していくのは容易なことではか－。 専門分野を持つ多くの技術者がベンチマークや議論を行し－ながら作成していくためテーブルだけ見てもなかなか理解しがたい点もある。 その理解の一助になればという観点で、こ2007年版には"supplementary table"がいくつか埋め込まれている。 これらを合めてWECCのロードうップとして広く活用されることを願っている。 ロードマップをご覧になった方々からのご意見を項ければ幸いである。