放熱源のある製造空間のダスト·コントロール

摘要

放熱源のある製造空間のダスト·コントロールに付き、測定データやシミュレーションにより、得られた知見をまとめる。 内外に温度差のある、自然換気を行う空間では、換気口の開口バランスにより、空間内の圧力が変動する。特に絵気面積が欠如すると、排気口からの逆流を招き、ダスト汚染の懸念が強くなる。 外部変動要因や人為的要因の影響を極小にするような、給排気バランスの構築が必要である。 建屋内のダスト量を減少させた上で、クリーン製造工程を設けることにより、クリーンルームが環境から受ける負荷要素を低減することができる。