半導体式ガスセンサの概論

摘要

現在の私達の安全·安心·快適な生活環境や各種産業界での同様な労働環境の実現のためには、様々な技術や制御システムが必要で、それらは種々のセンサに依って支えられている。センサは、光や温度などの物理量を検知対象とする物理センサと、各種化学成分の化学量を検知対象とする化学センサに大別される。可燃性ガスや毒性ガスなどを検知対象とするガスセンサは、化学センサの中で主要な研究·開発対象となる機能素子である。