石墨涂层辅助原位电化学沉积半导体气体传感器

摘要

电阻式气体传感器通常需要在不导电衬底上制备,而电沉积法无法直接对不导电衬底进行原位电化学沉积半导体材料,目前也并无相关报道.本文选用商业用陶瓷管为衬底,在其上涂覆石墨涂层,借助石墨涂层的导电性原位电化学沉积半导体薄膜,然后通过煅烧降低或消除石墨的导电性,得到相应的半导体气体传感器.该类传感器具有灵敏度高、响应和恢复速度快、可重复和批量加工以及极高的稳定性.这种方法具有非常好的普适性,适用于大多数的半导体气体传感器的构筑,如:SnO2、ZnO、Fe2O3、CuO以及NiO等.