大型ガラス基板用ストッカ内の気流変動と汚染の対策に関する検討

摘要

クリーンルーム内において、気流変動は微粒子などの汚染物質を巻き上げ、拡散させる要因となる。半導体デバイス、フラットパネルディスプレイなどの製造環境として用いられる産業用クリーンルームでは、近年、自動搬送装置やクリーンストッカなどさまざまな走行装置が多用されるようになっだ。しかし、これらの装置の走行に伴い発生する気流変動は、周囲のクリーン環境を阻害する一因にもなっている。特にフラットパネルディスプレイ製造工程では、ガラス基板の大型化かに伴い各種走行装置も年々大型化しており、これら気流変動がクリーンルーム内の環境に及ぼす影響は今後ますます増大するものと考えられる。これまで汚染制御を目的として、クリーンルーム内の気流に関する多くの研究が行われてきたが、このように大規模な移動物体に起因する気流変動に対しての考察やその対策検討はほとhど行われていない。