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储料器以及包含上述储料器的基板移送系统

摘要

本发明提供一种能够通过减少基板的移送时间而提升生产效率的基板移送系统。上述基板移送系统包括:第1设备区域,安装有多个设备且沿着第1方向延长形成;第2设备区域,安装有多个设备且沿着上述第1方向延长形成;移送区域,位于上述第1设备区域以及上述第2设备区域之间,安装有沿着上述第1方向延长形成的多个第1导轨;储料器,安装于上述第1设备区域内部,搬入端口以横穿上述移送区域并抵达上述第2设备区域的状态安装;以及,高架移送装置,用于在上述第2设备区域移送容器,其中,上述高架移送装置在上述第2设备区域向上述搬入端口装载容器,而上述所装载的容器借助于上述搬入端口横穿上述移送区域并传递到上述第1设备区域。

著录项

  • 公开/公告号CN110504199A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-11-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 细美事有限公司;

    申请/专利号CN201910400105.9

  • 发明设计人 李锺完;郑载润;

    申请日2019-05-14

  • 分类号

  • 代理机构深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司;

  • 代理人薛晓伟

  • 地址 韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑4产团5街77号

  • 入库时间 2024-02-19 15:48:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20190514

    实质审查的生效

  • 2019-11-26

    公开

    公开

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