大型ガラス基板用ストッカ内の気流変動と汚染の対策に関する検討

摘要

産業用クリーンソレームでは半導体や液晶などの製造環境として自動搬送装置やクリーンストッカ内の大型クレーンなど様々な搬送装置が多用されており、これらの装置の走行に伴い発生する気流がクリーンソレーム内の清浄環境におよぼす影響は大き叛本研究では、自動搬送装置（以下、クレーンと呼ぶ）の走行に伴い発生するクリーンソレーム内の動的な気流について検討し、その特性を評価した。特に、製品汚染に影響する気流変動や逆流の発生には、クレーンの走行に伴う動圧変化が強く関連するものと思われる。本報では動的な圧力変化を低減し、製品への影響を低減する方法を検討した結果を報告する。