UVツルーイングした電着ダイヤモンド砥石の研削性能の向上

摘要

本研究では紫外線照射研磨で精密ツルーイング（UVツルーイング）した小径軸付電着ダイヤモンド砥石の研削性能を評価するため，Wツルーイング時間の異なる砥石を用いて超硬を研削し，仕上げ面粗さおよび研削抵抗を調べた．UVツルーイング10minの砥石の研削面の仕上げ面粗さは3.0nmSaまで改善され，UVツルーイングの効果が認められた．次に，100パス研削を行って砥石寿命を調べ，UVツルーイング60minの砥石は安定した仕上げ面粗さと研削抵抗を示し，砥石の長寿命化に効果があることがわかった．さらに，マイクロバブルを添加した研削液を用い，研削面の仕上げ面粗さや研削抵抗の低減，切りくずの微細化などの効果が認められた．