...
首页> 外文期刊>Приборы и техника эксперимента >ЭКСИМЕРНЫЙ ИЗЛУЧАТЕЛЬ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ СПЕКТРАЛЬНОЙ ОБЛАСТИ 170-310 нм
【24h】

ЭКСИМЕРНЫЙ ИЗЛУЧАТЕЛЬ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ СПЕКТРАЛЬНОЙ ОБЛАСТИ 170-310 нм

机译:用于光谱区域的准分子低压发射器170-310 nm

获取原文
获取原文并翻译 | 示例

摘要

Эксимерный излучатель низкого давления с накачкой продольным тлеющим разрядом постоянного тока работает на B-X-, D-X-переходах хлоридов Ar, Kr, Xe и на D'-A'- переходе молекулы хлора. Оптимизация выходных характеристик излучателя с длиной разрядной области 100 мм и внутренним диаметром разрядной трубки 5 мм проводилась на смесях Xe(Kr, Ar)/Cl{sub}2, Ar/Kr/Cl{sub}2, Ar/Xe/Cl{sub}2 и Kr/Xe/Cl{sub}2. Спектральный диапазон работы излучателя составлял 170-310 нм. Средняя мощность излучения находилась в пределах 1.8-8.2 Вт, коэффициент полезного действия ≤21%.
机译:通过直流的纵向故意放电泵浦的低压的准分子散热器在Ar,Kr,Kr氯化物的B-X-,D-X-转变和氯分子的转变上进行。 在混合物XE(KR,AR)/ CL {SUB} 2,AR / KR / CL(AR / KR / CL)上对发射区域的长度和放电管5mm的内径的优化发射极的输出特性和放电管5mm的内径进行了优化。 {sub} 2,AR / XE / CL {SUB} 2和KR / XE / CL {SUB} 2。 发射器的光谱范围为170-310nm。 平均辐射功率在1.8-8.2W之内,效率≤21%。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号