法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-15
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J61/12 申请公布日:20130731 申请日:20130515
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-11-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J61/12 申请日:20130515
实质审查的生效
2013-07-31
公开
公开
机译: 无极准分子紫外灯
机译: 准分子灯和配备有该准分子灯的灯单元,可将准分子灯布置在靠近目标物体的位置
机译: 准分子灯玻璃,准分子灯容器和准分子灯