超高精度平面度測定装置SF-640M

摘要

平面加工の要求精度は高くなっているが、正確に評価することが難しい。20年以上の実績を積む当社のウエーハ表面形状精密測定装置『ナノメトロ』の技術を用いて平面研削盤とその精度評価までのセットでの提供を目指す。