高精度大测程激光平面度检测仪及精度分析

摘要

本文详细分析了激光平面度检测仪的误差来源。从理论和实践两方面分证了该仪器检测数据的可靠性，并指出了仪器进一步改进的方向，为该类仪器的设计和精度分析提供了范例。