最近の事例に学ぶ精密位置決めの設計技術：半導体用露光装置における精密位置決め技術

摘要

同期精度を確保する制御方法としてはウェハとレチクルそれぞれが絶対精度を保ってスキャンする自己完結型と，どちらかが相手方の位置に対して追従するマスタースレイブ型があるが，当社ではRSがWSに追従する方法を採用している。よって最終的な同期精度はRSによって決定される。 WSがある程度気ままな動きをしようともRSががhばればつじつまが合ってしまう。 RSは言ってみれば野球で言う「クローザー」のような存在である。 そして今回は，すでに量産の場で活躍している半導体露光装置NSR-S308Fに採用されているRSの構成や制御方法に話題を絞って紹介する。