最近の事例に学ぶ精密位置決めの設計技術：半導体露光装置における精密位置決め技術開発の実相

摘要

半導体ICのデザインルールの微細化要求を満たすべく露光装置の更新がなされている。周期はシリコンサイクルに相当している。筆者は大学人となる数年前まで民間企業の技術者であり，そこで露光装置の開発に従事していた。すでにシリコンサイクルの一周期は過ぎており筆者の経験は過去のものである。 しかし，昔操った杵柄。 ここに精密位置決め技術の動向に関する一解説を行う。