ガス分離カラムを用いたボールSAWセンサによる多種類ガスの応答解析

摘要

環境計測やセキュリティーの分野では、多種類の危険·有害ガスを高感度に検知する必要がある。我々は小型、高感度が特徴であるボールSAWセンサをガスクロマトグラフィ(GC)の分離カラムと組み合わせることにより、携帯可能な多種類ガス検出システムを開発している。 ボールSAWセンサの適応範囲は広げるため、ガス感応膜として従来のPdNi合金膜に加え、ポリイソプチレン(PIB)の膜を製膜し、ボールSAWセンサの応答特性を評価した。その結果、飽和炭化水素の測定において感度の向上がみられ、多種類ガスセンサに応用できる可能性が高まった。