L1_1-CoPt-C規則合金垂直膜の構造と磁気特性

摘要

Co-Ptには10~7 erg/cm~3台の大きな一軸磁気異方性K_uを有する規則相として，安定相であるL1_0型CoPtの他に，D0_(19)型Co_3PtならびにL1_1型CoPtの準安定相がある．我々は，これらの準安定な規則化合金の垂直磁化膜を，スパッタリング法により形成することに成功している．これらの薄膜は，比較的低い基板温度（270～390°C）において，2.5インチガラスディスク上に多結晶薄膜としても形成が可能である．本報告では，Cを添加したL1_1-Co_(50)Pt_(50)規則合金のガラスディスク上への形成を試み，グラニュラ系垂直磁化膜の実現の可能性を探査した．