Свойства пленок оксида цинка, синтезированных в низкотемпературном плазменном разряде в условиях бомбардировки компонентами плазмы

摘要

Изучены оптические и структурные свойства тонких пленок оксида цинка, синтезированных в условиях бомбардировки компонентами низкотемпературной плазмы. Пленки синтезировались на холодной подложке, расположенной на расстоянии от мишени, сравнимом с длиной свободного пробега выбитых из мишени частиц. Определены показатель преломления, оптическая ширина запрещенной зоны и межплоскостное расстояние исследуемых пленок. Обнаружена зависимость этих параметров от длины свободного пробега частиц, определяемой давлением в распылительной камере. Выявлена устойчивая корреляция между параметрами пленок и интенсивностью бомбардировки. Предлагается качественное объяснение, основанное на анализе энергетических условий синтеза пленок.