大放电间距下常温辉光放电低温等离子体材料处理装置

摘要

本发明公开了一种大放电间距下常温辉光放电低温等离子体材料处理装置，包括真空腔体、设置于真空腔体内部的上电极和下电极、设置于真空腔体上端的外加气氛接口、设置于真空腔体下端的抽气和泄气接口、设置于真空腔体一侧的真空腔门，还包括穿过真空腔体分别与上、下电极相连接的驱动电源，所述驱动电源为调制脉冲驱动电源，同时，在相对设置的上电极下表面和下电极上表面上，分别设置一层稀土元素氧化物镀层。本发明针对现有的低温等离子体材料处理装置存在的放电同时会产生大量的热能问题，提出了一种可在500~5000pa气压条件下产生均匀的辉光放电和接近常温的辉光放电低温等离子体的材料处理装置。