磁性薄膜の成長制御と評価解析技術の進展

摘要

垂直磁気記録媒体の結晶配向制御技術，微細構造，ミクロ組成構造および磁化状態観察技術の歴史的な発展経緯を述べ，さらに教Tb／in~2を超える記録密度を実現するための媒体技術可能性を展望した．これまで記録磁性膜として用いられてきているhcp-Co合金，今後の活用が期待される大きな磁気異方性エネルギーを持つCoPt，FePt，SmCo_5などの規則合金薄膜の磁化容易軸の垂直配向制御技術の状況を紹介した．また磁気力顕微鏡の観察分解能を10nm以下に改良し，Tb／in~2級の面記録密度を持つ高密度磁気記録媒体の磁化状態観察を可能とする技術の概要を説明した．