デバイス技術を支える結晶成長技術の進展四つのキーワードから紐解く結晶成長技術の進展から材料制御技術の将来

摘要

ここ数年デバイス技術を支えきた結晶成長技術は，rn発展，進化の過程にある。本稿では，Si技術との融rn合やフレキシブルデバイスなど，様々な応用分野へrnの提案と可能性について説明する。