MgO下地層を用いた極薄FePt垂直磁化膜の作製

摘要

2nm程度のL1_0-FePt規則合金薄膜を作製するために，Feシード層上に形成した（001）優先配向を持つMgO下地層を用いた．（001）優先配向MgO下地層上にエピタキシャル成長したFe[1 nm]/Pt[1 nm]は，水素雰囲気中での加熱処理により（001）優先配向したL1_0-FePt規則合金に変化し，2nm程度の（001）優先配向L1_0-FePt規則合金薄膜を得ることができた．また，Fe，Pt膜を薄くしたことにより膜相互間の拡散が促進され，FePtの規則化温度を従来の550°Cから500°Cまで低減することができた．また，FePtの規則化温度のさらなる低減を目指し，第三元素としてAnをFe/Pt/Auの三層構造とすることにより添加した．その結果，規則化温度を450°Cまで低減することに成功した．