表面酸化層導入によるアモルファスTbFeCo層上でのFeCo結晶配向制御

摘要

希土類遷移金属であるアモルファスTbFeCo層上に薄く酸素を流入させた後、FeCoを堆積させる事で、非加熱でFeCoを再現性良く（100）配向させる事に成功した。更に、酸素導入量に依存してFeCoの（100）結晶配向積分強度が変化する事も確認する事が出来た。TbFeCo表面酸化によってFeCoの結晶配向が変わる原因について、X線光電子分光を用いた多層膜の元素の深さ方向分析を行う事による考察を行った。その結果、TbFeCo/FeCo界面において、Tbのみが酸化している事が確認できた。このTb酸化物がFeCoの結晶配向変化に寄与している物と考えられる。