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碳化硅表面氧化层非晶化的TEM原位观察

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碳化硅表面氧化层非晶化的ＴＥＭ原位观察梅志顾明元吴人洁（上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室，上海２０００３０）碳化硅颗粒表面氧化处理是一种促进基体与增强体界面结合、保护增强体免遭铝液浸蚀的方法。但有关碳化硅表面的ＳｉＯ２氧化膜的存在形式，尚存在...

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来源
《电子显微学报》|1996年第6期|568|共1页
作者
梅志;
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作者单位

不详;

不详;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.24;
关键词
碳化硅; 表面氧化处理; 非晶化;

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