MgO/bcc-CrMn積層下地層の表面形態とその上に成膜したFePt薄膜の磁気特性

摘要

本研究では、スパッタ法で作製されるLl_0型FePt熱アシスト磁気記録媒体用MgO/bcc-CrMn下地層について結晶配向および表面形態の解析、またその上に成膜したFePt薄膜の磁気特性の評価を行った。その結果、（1） MgO層の表面には、網目状に隆起した構造と突起構造が形成されること、（2）網目状隆起構造の網目寸法の縮小にはCrMn結晶粒径の微細化が、突起構造の形成抑制にはCrMn膜厚の低減が有効であること、（3）網目状隆起構造には磁性層中のFePt結晶粒の粒間交換結合の低減効果があることがわかった。これらの知見を活用し、新たなグラニュラ媒体の設計指針の提案を行った。