铝合金薄膜和具有该薄膜的配线电路以及形成此薄膜的靶材

摘要

本发明的目的在于提供一种具有与ITO膜同等水平的电极电位、不存在硅扩散、电阻率低、耐热性优异的铝合金薄膜。本发明的含碳铝合金薄膜的特征是，含有0．5-7．0at％的选自镍、钴、铁的至少一种以上的元素和0．1-3．0at％的碳，余分为铝。更好的是本发明的铝合金薄膜中还含有0．5-2．0at％的硅。