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机译:适用于蓝宝石,GaN和SiC的超精密CMP,适用于先进的光电材料
Chemical mechanical polishing; Colloidal silica; Gallium nitride; Sapphire; Silicon carbide;
机译:适用于蓝宝石,GaN和SiC的超精密CMP,适用于先进的光电材料
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