テストのどツグデータ活用による半導体業界の検査技術の進化

摘要

LSI製品はムーアの法則に従い微細化，大規模化が急速に進展し，テストは常に課題であり続けている。その解決のため，これまで,テスト容易化設計や自動テスト生成など，さまざまなテスト技術の研究?開発が行われてきた。しかし，製造欠陥の複雑化?多様化が進む一方，従来型のテスト手法の改良は飽和点に達しつつある。このため，新たな取り組みとして，データマイニング技術を活用したテスト手法が注目されるようになり，LSIテストに関する学会などにおいても多くの論文が発表されている~(1))。本稿では，半導体業界に浸透しつつある，ビッグデータを活用したLSIテスト技術の概略について述べる。